Như chúng ta đã biết, chỉ có một nhà sản xuất duy nhất trên thế giới có thể sản xuất bản in khắc EUV, đó làASML của Hà Lan.
Lý do tại sao chỉ có một nhà sản xuất trên thế giới là ASML đã liên kết nhiều nhà sản xuất chính với nhau, chẳng hạn như Zeiss (Zeiss), một công ty quang học của Đức, Cymer (Mỹ) vàTRUMPF (Đức).
ASML đã buộc các nhà sản xuất này vào cỗ xe của mình thông qua đầu tư, mua lại, cổ phần, thành lập trung tâm nghiên cứu, v.v. sản xuất in khắc EUV.
Tuy nhiên, gần đây, một chuỗi cung ứng quan trọng của ASML, đã chạy đến Thâm Quyến, Trung Quốc để xây dựng một nhà máy, công ty con ở Thâm Quyến của nó đã định cư tại Công viên Trình diễn Công nghiệp Baoan Sino-German (Châu Âu).
Nhà sản xuất này là Tập đoàn TRUMPF của Đức (TRUMPF), đây là công ty in khắc EUV của ASML, nhà cung cấp nguồn laser duy nhất trên thế giới.
Các sản phẩm TRUMPF trong bản in khắc EUV, quan trọng như thế nào? Đầu tiên, hãy nghe tôi giải thích về nguyên lý của EUV lithography, bạn sẽ hiểu.
Nói một cách đơn giản, nguyên tắc của kỹ thuật in khắc EUV tập trung vào ba hệ thống chính, hệ thống nguồn sáng tia cực tím EUV, hệ thống gương vật kính và hệ thống bảng.
Quy trình cụ thể là sử dụng tia laser để kích thích bước sóng 13,5nm của ánh sáng cực tím, sau đó được điều chỉnh để tạo thành chùm ánh sáng có kiểm soát, sau đó được chiếu lên bảng mặt nạ quang trước khi chiếu qua gương vật kính lên bảng phơi sáng và cuối cùng được khắc thành một mạch trên một tấm wafer silicon được phủ chất cản quang.
Cách một trong những hệ thống nguồn sáng UV EUV thu được bằng cách bắn phá một giọt kim loại thiếc (Sn) bằng tia laser CO2 công suất 30 kW, làm bay hơi nó thành plasma và cuối cùng thu được ánh sáng EUV ở bước sóng 13,5 nm.
Laser CO2 30 kW này được cung cấp bởi TRUMPF, công ty duy nhất trên thế giới.
Đừng đánh giá thấp tia laser CO2 này, nó có 457.329 bộ phận, chiều dài cáp trong hệ thống lên tới 7.322 mét và trọng lượng là 17.090 kg, là một trong những thành phần cốt lõi quan trọng nhất trong quang khắc EUV.
Bây giờ TRUMPF chạy đến Trung Quốc để xây dựng nhà máy, ý định rất rõ ràng, đó là lạc quan về thị trường laser Trung Quốc, và thậm chí còn có tầm nhìn dài hạn hơn, lạc quan về thị trường in thạch bản Trung Quốc, tương lai có thể hợp tác với Trung Quốc để chế tạo in khắc EUV .
Trên thực tế, đã có nhiều hơn một chuỗi cung ứng ASML chạy đến Trung Quốc để xây dựng nhà máy, có KMWE và các nhà sản xuất khác cũng đến Trung Quốc để xây dựng nhà máy.
Theo xu hướng hiện tại, chúng ta có thể hy vọng một cách lạc quan rằng có thể không lâu nữa công nghệ in thạch bản của Trung Quốc sẽ có một bước tiến lớn, và thậm chí khối lượng in thạch bản EUV đầu ra, bạn có nghĩ vậy không?
